Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=системные модули<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Казьмирук, В. В.
    Сканирующие электронные микроскопы МикроСкан серии МС20 [Текст] / В. В. Казьмирук // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 11. - С. 1550-1553. : рис. - Библиогр.: c. 1553 (2 назв. )
УДК
^a621.382
ББК 32.852
Рубрики: Радиоэлектроника
   Полупроводниковые приборы
Кл.слова (ненормированные):
сканирующие электронные микроскопы -- микролитографы -- системные модули -- видеоконтрольные устройства -- электронно-лучевая литография -- принцип модульности -- ионно-оптические системы
Аннотация: В ИПТМ РАН разработана новая серия сканирующих электронных микроскопов (СЭМ) МикроСкан-МС20. Основная их отличительная особенность - модульность конструкции абсолютно всех узлов и систем, что позволило достичь высокого уровня унификации.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 19.08.2024
Число запросов 48435
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)