Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=получение тонких пленок<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Изучение химического состава плазмы в процессах получения тонких пленок и покрытий с применением спектрометра "Колибри-2" [Текст] / В. Р. Шаяпов [и др. ] // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2012. - Т. 78, № 1: № 1, № 1. - С. 96-98. - Библиогр.: с. 98 (9 назв. ) . - ISSN 1028-6861

УДК

^a543.4/.5

ББК 24.46/48
Рубрики: Химия
Физико-химические методы анализа
Кл.слова (ненормированные):
химический состав плазмы -- плазма -- получение тонких пленок -- тонкие пленки -- тонкие покрытия -- получение тонких покрытий -- спектрометры -- Колибри-2 (спектрометры) -- плазмохимическое разложение -- микроплазменный синтез -- гексаметилдисилазан -- оксидные покрытия -- сплавы алюминия -- силикатно-щелочные электролиты -- оптическая эмиссионная спектроскопия -- эмиссионная спектроскопия -- плазмохимическое осаждение -- плазма ВЧ-разряда
Аннотация: Рассмотрено применение спектрометра "Колибри-2" для изучения химического состава плазмы на примерах плазмохимического разложения гексаметилдисилазана и микроплазменного синтеза оксидного покрытия на сплаве алюминия в силикатно-щелочном электролите.

Доп.точки доступа:
Шаяпов, В. Р.; Рогов, А. Б.; Румянцев, Ю. М.; Аюпов, Б. М.; Лабусов, В. А.; Зарубин, И. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Кострин, Д. К. (кандидат технических наук).
Оптический контроль состава газовой смеси в процессе реактивного магнетронного распыления [Текст] / Д. К. Кострин // Контроль. Диагностика. - 2015. - № 5. - С. 47-50. - Библиогр.: с. 50 (12 назв. ) . - ISSN 0201-7032

УДК

^a533.9

^a543.4/.5

ББК 22.333 + 24.46/48
Рубрики: Физика
   Электронные и ионные явления. Физика плазмы
   Химия
   Физико-химические методы анализа
Кл.слова (ненормированные):
газовые смеси -- магнетронное распыление -- нанесение покрытий -- оптические спектрометры -- оптический контроль -- получение тонких пленок -- реактивное распыление -- состав газовых смесей -- спектрометрические комплексы -- спектры излучения плазмы -- тонкие пленки
Аннотация: Проанализированы особенности процесса получения тонких пленок с помощью реактивного магнетронного распыления. Показано, что одной из важнейших технологических задач для данного процесса является контроль состава газовой смеси. Рассмотрено спектральное оборудование, позволяющее проводить диагностирование процесса по спектрам излучения плазмы.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 22.07.2024
Число запросов	100927
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)