Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=критические размеры<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.


    Белокопытов, Г. В.
    Сравнение характеристик изображения в проекционной фотолитографии [Текст] / Г. В. Белокопытов, Ю. В. Рыжикова // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 1. - С. 88-91. - Библиогр.: c. 91 (6 назв. )
УДК
ББК 22.347
Рубрики: Физика
   Ультрафиолетовые лучи

Кл.слова (ненормированные):
численное моделирование -- фотолитография -- критические размеры -- численная апертура -- круговая апертура -- когерентность -- проекционная фотолитография -- бинарная маска -- фазовая маска -- характеристики изображения
Аннотация: Путем численного моделирования проведено сравнение характеристик изображений, создаваемых некоторыми типичными фотошаблонами. Рассмотрена методика оценки критических размеров элементов изображения.


Доп.точки доступа:
Рыжикова, Ю. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : з.п. (1)
Свободны: з.п. (1)

Найти похожие

2.


    Псарев, В. И.
    Структурно-функциональное исследование фазодисперсных материалов [Текст] / В. И. Псарев, Л. А. Пархоменко // Материаловедение. - 2013. - № 1. - С. 3-7 . - ISSN 1684-579X
УДК
ББК 30.3
Рубрики: Техника
   Материаловедение

Кл.слова (ненормированные):
дисперсные выделения -- критические размеры -- внутрисистемные процессы -- кумулятивные распределения -- аналитические распределения -- экспериментальные гистограммы -- фазодисперсные материалы -- никелевые стали -- алюминиево-магниевые сплавы
Аннотация: Анализ фазодисперсных материалов на основе идентификационного сопоставления экспериментальной гистограммы с теоретическим распределением частиц по размерам позволяет получать достоверную информацию о кинетике их огрубления и стабилизации. Получены необходимые для этой цели аналитические формулы.


Доп.точки доступа:
Пархоменко, Л. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

 
Статистика
за 01.08.2024
Число запросов 2231
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)