Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=прямое распыление<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Манухин В. В., Барат А. А., Губкин М. К.
Заглавие : Методы инвариантного погружения в теории распыления тонких пленок легкими ионами
Место публикации : Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74. N 2. - С.254-261. - ISSN 0367-6765 (Шифр ranf/2010/74/2). - ISSN 0367-6765
Примечания : Библиогр.: c. 261 (24 назв. )
УДК : 539.534.9
ББК : 30.121
Предметные рубрики: Техника
Сопротивление материалов
Аннотация: Получены аналитические выражения для энергетических спектров распыленных атомов при бомбардировке плоскопараллельного слоя потоками легких ионов. В основе представленной теории лежит принцип инвариантного погружения, примененный совместно с методом дискретных потоков. Данный подход позволяет абсолютно точно удовлетворить граничным условиям кинетического уравнения Больцмана, при этом может быть описано как обратное распыление, так и прямое распыление "напрострел". Предложенная методика решения задачи о распылении плоскопараллельного слоя позволяет перейти к изучению спектров распыления многослойных структур, причем может быть учтен ряд особенностей, присущих распылению именно легкими ионами.
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 27.09.2024
Число запросов 39151
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)