Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=пленка TiN<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Ходаченко Г. В., Писарев А. А., Крашевская Г. В., Щелканов И. А., Орлов И. Е., Соколов А. Ю., Казиев А. В., Атаманов М. В., Юрченко А. А., Купцов К. А.
Заглавие : Ионно-плазменная генерация тонкого TiN-покрытия фольги электролитических конденсаторов
Место публикации : Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74. N 2. - С.277-283. - ISSN 0367-6765 (Шифр ranf/2010/74/2). - ISSN 0367-6765
Примечания : Библиогр.: c. 283 (5 назв. )
УДК : 533.924
ББК : 22.333
Предметные рубрики: Физика
Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Аннотация: Представлены результаты исследований защитных покрытий TiN, формируемых на наноструктурированной катодной фольге с помощью плазменных магнетронных технологий и при облучении азотной плазмой высокочастотного индуктивного (ВЧИ) разряда. Показано их влияние на структуру покрытий. Проведено исследование возможности управления энергией и потоком ионов из плазмы ВЧИ-разряда на заземленную подложку. Показано, что при неизолированных стенках камеры и низких давлениях такие режимы не реализуются.
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 12.09.2024
Число запросов 27865
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)