Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=магнетронное распыление<.>)

Общее количество найденных документов : 40
Показаны документы с 1 по 20

1-20 21-40

Effective charge in LiNbO[3] films fabricated by radio-frequency magnetron sputtering method [Text] / M. Sumets, E. Belonogov, V. Dybov [и др.] // Физика твердого тела. - 2019. - Т. 61, вып. 12. - С. 2363 . - ISSN 0367-3294

УДК

^a537.311.33

ББК 22.379
Рубрики: Физика
Физика полупроводников и диэлектриков--Россия--Санкт-Петербург, 2019 г.
Кл.слова (ненормированные):
доклады -- конференции -- кристаллизация -- магнетронное распыление -- ниобат лития -- радиочастотное магнетронное распыление -- распыление -- тонкие пленки
Аннотация: Гетероструктуры, полученные путем нанесения аморфных пленок Li-Nb-O на подложки Si методом радиочастотного магнетронного распыления, продемонстрировали наличие эффективного оксидного заряда Qeff, имеющего как отрицательную, так и положительную составляющие.

Доп.точки доступа:
Sumets, M.; Belonogov, E.; Dybov, V.; Serikov, D.; Kostyuchenko, A.; Ievlev, V.; Kotov, G.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Успенская, Л. С.
Асимметричная динамика доменных границ в тонких обменно-связанных пленках ферромагнетика [Текст] / Л. С. Успенская // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 5. - С. 744-746. . - Библиогр.: c. 746 (10 назв. )

УДК

^a537.61

ББК 22.334
Рубрики: Физика
Магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
динамические характеристики -- доменные границы -- квазистатические характеристики -- кинетика перемагничивания -- магнетронное распыление -- метод магнитооптической визуализации магнитного потока -- обменно-связанные пленки -- перемагничивание -- ферромагнетики -- эффекты переключения
Аннотация: Кинетика перемагничивания двухслойных гибридных структур, состоящих из обменно-связанных FeNi- и FeMn-слоев изучена с помощью метода магнитооптической визуализации магнитного потока. Установлено, что не только квазистатические, но и динамические характеристики перемагничивания таких структур зависят от полярности магнитного поля, приложенного вдоль легкой оси. Обнаружено, что скорость процессов экспоненциально растет с полем для обеих полярностей, но при этом инверсия поля изменяет скорость в десятки раз. Показано, что такое различие определяется и изменением времени зарождения границ и изменением скоростей их движения при инверсии поля.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Никулин, Ю. В.
Влияние полярности напряжения смещения подложки на текстуру, микроструктуру и магнитные свойства пленок Ni, получаемых магнетронным распылением [Текст] / Ю. В. Никулин, А. С. Джумалиев, Ю. А. Филимонов // Физика твердого тела. - 2016. - Т. 58, вып. 6. - С. 1206-1215 : 6 рис. - Библиогр. в конце ст. (46 назв.) . - ISSN 0367-3294

УДК

^a539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
Ni -- кристаллография в целом -- магнетронное распыление -- напряжение смещения подложки -- никель -- пленки Ni -- полярность напряжения -- смещение подложки
Аннотация: Изучено влияние полярности напряжения смещения подложки U[s] на микроструктуру, кристаллографическую текстуру и магнитные свойства пленок толщиной 15-420 nm.

Доп.точки доступа:
Джумалиев, А. С.; Филимонов, Ю. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Длительные испытания системы La-Sr-Mn катод-стальной токовый коллектор с Mn-Cо-O покрытием, нанесенным методом магнетронного распыления [Текст] / Н. В. Гаврилов [и др. ] // Физика и химия обработки материалов. - 2010. - N 4. - С. 44-50.

УДК

^a621.793

ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
шпинельное покрытие -- магнетронное распыление -- топливные элементы -- твердооксидные электролиты -- ферритные нержавеющие стали
Аннотация: Результаты длительных испытаний структуры La-Sr-Mn катод-стальной токовый коллектор с покрытием при рабочих температурах и токовой нагрузке, характерных для твердооксидного топливного элемента, показали, что применение покрытия из Mn1, 5Co1, 5O4 шпинели, полученного методом магнетронного распыления, и контактной пасты обеспечивает стабильное удельное поверхностное сопротивление контакта.

Доп.точки доступа:
Гаврилов, Н. В.; Иванов, В. В.; Каменецких, А. С.; Липилин, А. С.; Мамаев, А. С.; Никонов, А. В.; Ремпель, А. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Исследование покрытий, осажденных при вакуумно-дуговом испарении спеченных порошковых катодов титан-кремний [Текст] / Г. А. Прибытков [и др. ] // Физика и химия обработки материалов. - 2009. - N 6. - С. 34-40 . - ISSN 0015-3214

УДК

^a620.1/.2

^a539.2

ББК 30.3 + 22.37
Рубрики: Техника
   Материаловедение
   Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
покрытия -- спеченные порошковые катоды -- титан -- кремний -- спеченные катоды -- вакуумно-дуговое испарение -- магнетронное распыление -- катодное распыление -- многокомпонентная плазма -- наноструктурные покрытия -- ионно-плазменные покрытия -- прессованные смеси порошков
Аннотация: Исследованы микроструктура и фазовый состав катодов, спеченных из прессованных смесей порошков титана и кремния, а также ионно- плазменные покрытия, полученные вакуумно-дуговым распылением спеченных катодов.

Доп.точки доступа:
Прибытков, Г. А.; Гурских, А. В.; Шулаев, В. М.; Андреев, А. А.; Коржова, В. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Исследование фазового и элементного состава покрытий на основе кремнийсодержащего гидроксиапатита для медицинских имплантатов, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления [Текст] / М. А. Сурменева [и др.] // Физика и химия обработки материалов. - 2012. - № 3. - С. 51-60 . - ISSN 0015-3214

УДК

^a533.9

ББК 22.333
Рубрики: Физика
Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
гидроксиапатиты -- кремнийсодержащие гидроксиапатиты -- механохимический синтез -- биосовместимые покрытия -- магнетронное распыление -- керамические технологии -- механоактивированные порошки -- однофазные механоактивированные порошки -- порошки-прекурсоры -- апатиты -- фосфат-ионы -- двухфазные мишени -- анионы силикатов -- осаждение покрытий -- спектроскопия
Аннотация: Методами РФА, ИК-спектроскопии и РЭМ исследованы фазовый состав и структура покрытий на основе кремнийсодержащего гидроксиапатита (ГА), полученных методом ВЧ-магнетронного распыления. Установлено, что мишень для распыления, приготовленная по керамической технологии из однофазного механоактивированного порошка-прекурсора, является двухфазной (апатит + трикальций фосфат). Структура покрытия, полученного при распылении двухфазной мишени, является однофазной (ГА) и текстурированной в направлении (002). В процессе осаждения покрытия происходит частичное замещение фосфат-ионов в решетке апатита анионами силиката.

Доп.точки доступа:
Сурменева, М. А.; Сурменев, Р. А.; Чайкина, М. В.; Качаев, А. А.; Пичугин, В. Ф.; Эппле, М.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Шикова, Т. Г.
Исследование характеристик пленок оксида олова, полученных термическим окислением металлических пленок [Текст] / Т. Г. Шикова, И. В. Холодков, Е. Н. Таланов // Физика и химия обработки материалов. - 2011. - N 6. - С. 88-92.

УДК

^a621.78

ББК 34.65
Рубрики: Машиностроение
Упрочнение металлов
Кл.слова (ненормированные):
оксиды олова -- термическое окисление -- морфология поверхности -- электрические свойства оксидных слоев -- оптические свойства оксидных слоев -- термическое испарение в вакууме -- магнетронное распыление -- двухступенчатый отжиг -- нестехиометрические оксиды
Аннотация: Исследованы электрические и оптические свойства и морфология оксидных слоев SnO, полученных термическим окислением пленок олова, осажденных методами термического испарения в вакууме и магнетронного распыления. Показано, что в результате двухступенчатого отжига на воздухе (200 и 400 градусов Цельсия) прозрачность пленок увеличивается до 70-80%, а их поверхностное сопротивление увеличивается после окисления при температуре 200 градусов Цельсия и уменьшается после повторного отжига при 400 градусов Цельсия. Уменьшение сопротивления связано с образованием нестехиометрического оксида с избытком атомов олова и вакансиями кислорода. Структура пленок зависит от их толщины и режимов отжига.

Доп.точки доступа:
Холодков, И. В.; Таланов, Е. Н.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Исследования фазового перехода ферромагнетик-парамагнетик в тонких пленках FePt[1-x]Rh[x] фазы L1[0] [Текст] / А. А. Валиуллин [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2015. - Т. 79, № 8. - С. 1128-1130. - Библиогр.: c. 1130 (6 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a537.622:538.955

ББК 22.334
Рубрики: Физика
Магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
магнетронное распыление -- магнитокристаллическая анизотропия -- переход ферромагнетик-парамагнетик -- пленки FePtRh -- тонкие пленки -- фазовые переходы -- ферромагнитные состояния
Аннотация: Методом магнетронного распыления получены пленки FePtRh c различным содержанием Rh (FePt[1-x]Rh[x]). Изучены магнитная структура и фазовый переход ферромагнетик-парамагнетик в тонких пленках FePt[1-x]Rh[x] фазы L1[0] в зависимости от содержания Rh (0< или равно х< или равно 0. 40) в образце. Показано, что при комнатной температуре тонкие пленки FePt[1-x]Rh[x] при 0 < х < 0. 34 находятся в ферромагнитном состоянии с большой энергией магнитокристаллической анизотропии, тогда как при 0. 34 < х < 0. 4 - в парамагнитном состоянии.

Доп.точки доступа:
Валиуллин, А. А.; Камзин, А. С.; Ishio, S.; Hasegawa, T.; Ганеев, В. Р.; Тагиров, Л. Р.; Зарипова, Л. Д.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Никитин, М. М.
Магнетронное распыление: эволюция схем напыления и ионизация потоков, взаимодействующих с подложкой [Текст] / М. М. Никитин // Физика и химия обработки материалов. - 2011. - N 2. - С. 27-36.

УДК

^a621.77.016

ББК 34.51/59
Рубрики: Машиностроение
Обработка металлов
Кл.слова (ненормированные):
магнетронное распыление -- ионно-активированное напыление -- плазменные потоки -- подложки -- металлические пленки -- композиционные пленки
Аннотация: Рассмотрено развитие методики ионно-активированного напыления с использованием магнетронных источников распыления с целью расширения плазменного потока в направлении подложки и повышения соотношения ион-атом. Обсуждены возможности использования магнитных полей для формирования плазменных потоков. Показано, что установки с системой магнетронов, работающих в схеме замкнутого магнитного поля, позволяют реализовывать высокопроизводительный процесс получения качественных металлических и композиционных пленок.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

10.

Магнито-химические эффекты при обработке в кислой среде поверхности тонких ферромагнитных пленок [Текст] / А. В. Агапонова [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 2. - С. 200-202. . - Библиогр.: с. 202 (7 назв. )

УДК

^a537.632

ББК 22.334
Рубрики: Физика
Магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
доменная структура -- магнетронное распыление -- магнитные свойства -- магнитооптические исследования -- магнито-химические эффекты -- поверхности -- тонкие пленки -- феррит-гранатовые пленки -- химическое травление
Аннотация: В работе представлены результаты магнитооптических исследований влияния магнито-химических эффектов на морфологию поверхности и локальные магнитные свойства тонких пленок сплава FeN и тонкопленочных систем, представляющих собой чередующиеся слои оксида кремния и FeN субмикронной толщины. Обнаружено сильное влияние химического травления изучаемых образцов при наличии магнитного поля на морфологию их поверхностей и магнитные характеристики.

Доп.точки доступа:
Агапонова, А. В.; Шалыгина, Е. Е.; Тараканова, О. Н.; Быков, И. В.; Маклаков, С. А.; Пухов, А. А.; Рыжиков, И. А.; Седова, М. В.; Якубов, И. Т.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

11.

Микроструктура и оптические свойства тонких пленок оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления цинковой мишени [Текст] / О. В. Гончарова [и др. ] // Физика и химия обработки материалов. - 2009. - N 6. - С. 20-25 . - ISSN 0015-3214

УДК

^a539.107

^a539.21:535

ББК 22.381 + 22.374
Рубрики: Физика
Экспериментальные методы и аппаратура ядерной физики
Оптические свойства твердых тел
Кл.слова (ненормированные):
мишени -- цинковые мишени -- тонкие пленки -- магнетронное распыление -- оксид цинка -- высокопрозрачные пленки -- атомно-силовая микроскопия -- рентгеновский дифракционный анализ -- полупроводниковые микрокристаллы -- тонкопленочные матрицы -- реактивное магнетронное распыление -- кристаллические структуры -- аморфные подложки -- высокоупорядоченные кристаллические структуры -- солнечные элементы -- текстурированные лицевые поверхности
Аннотация: С целью разработки методов изготовления высокопрозрачных пленок оксида цинка с контролируемой величиной удельного сопротивления изучены их микроструктурные и спектральные свойства.

Доп.точки доступа:
Гончарова, О. В.; Леонова, Т. Р.; Гременок, В. Ф.; Болодон, В. Н.; Дымонт, В. П.; Ташлыков, И. С.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

12.

Многослойные зеркала La/B[4]C для спектральной области вблизи 6.7 нм [Текст] / М. М. Барышева [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2013. - Т. 77, № 1. - С. 29-32. - Библиогр.: с. 32 (5 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a621.793.164

ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
барьерные слои -- коэффициенты отражения -- магнетронное распыление -- многослойные зеркала -- проекционная экстремально ультрафиолетовая литография -- спектральная селективность -- шероховатость поверхности
Аннотация: Представлены результаты измерений коэффициентов отражения многослойных зеркал La/B[4]C с барьерными слоями углерода и скандия. Показано, что большее отражение достигается при осаждении слоя углерода на карбид бора. Эффект достигается вследствие уменьшения поглощения в структуре и сокращения ширины переходных областей.

Доп.точки доступа:
Барышева, М. М.; Вайнер, Ю. А.; Зуев, С. Ю.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Стариков, С. Д.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

13.

Кудряков, О. В.
Мониторинг начальных стадий эрозионного износа ионно-плазменных покрытий при каплеударном воздействии [Текст] / О. В. Кудряков, В. Н. Варавка // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2012. - № 10. - С. 40-47 : 6 рис. - Библиогр.: с. 47 (11 назв. ). - Подстроч. сноски . - ISSN 1813-1336

УДК

^a621.7

^a621.165+621.438

ББК 30.68 + 31.363
Рубрики: Техника--Россия
   Обработка материалов
   Энергетика
   Турбомашины
Кл.слова (ненормированные):
покрытия -- TiN -- ионно-плазменные покрытия -- стали -- аустенитные стали -- эрозионный износ -- нитриды титана -- турбинные лопатки -- каплеударная эрозия -- кавитация -- PVD-технологии -- магнетронное распыление -- стендовые испытания
Аннотация: Приведены данные эрозионных стендовых испытаний образцов из аустенитной стали с TiN-покрытием, полученным по PVD-технологии с магнетронным распылением. Показано, что механизм эрозионного износа покрытия включает несколько составляющих - механическую и гидродинамическую.

Доп.точки доступа:
Варавка, В. Н.
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие

14.

Морфология поверхности, микроструктура и пьезоэлектрический отклик перовскитовых островков в тонких пленках цирконата-титаната свинца [Текст] / И. П. Пронин, Е. Ю. Каптелов, С. В. Сенкевич [и др.] // Физика твердого тела. - 2019. - Т. 61, вып. 12. - С. 2369-2374 : 5 рис. - Библиогр. в конце ст. (19 назв.) . - ISSN 0367-3294

УДК

^a539.21:537

ББК 22.373
Рубрики: Физика
Электрические и магнитные свойства твердых тел--Россия--Санкт-Петербург, 2019 г.
Кл.слова (ненормированные):
высокочастотное магнетронное распыление -- доклады -- конференции -- магнетронное распыление -- перовскитовые островки -- силовая микроскопия пьезоотклика -- тонкие пленки -- цирконат-титанат свинца
Аннотация: Исследованы особенности микроструктуры и пьезоэлектрического отклика перовскитовых островков в матрице пирохлорной фазы в тонких пленках цирконата-титаната свинца, сформированных методом высокочастотного магнетронного распыления.

Доп.точки доступа:
Пронин, И. П.; Каптелов, Е. Ю.; Сенкевич, С. В.; Киселев, Д. А.; Осипов, В. В.; Пронин, В. П.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

15.

Наноструктурированные газопоглощающие геттерные пленки на основе TiV [Текст] / С. П. Тимошенков [ и др.] // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. - 2013. - Т. 4, № 4. - С. 37-41. - Библиогр.: c. 41 . - ISSN 2225-0999

УДК

^a681.7

^a681.5

^a539.2

ББК 22.341 + 32.81 + 22.37
Рубрики: Экспериментальные методы и аппаратура оптики
   Кибернетика
   Радиоэлектроника
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом
   Физика
Кл.слова (ненормированные):
газопоглощающие геттерные пленки -- геттерные пленки TiV -- геттеры -- магнетронное распыление -- наноструктурирование -- наноструктурированные газопоглощающие пленки -- пористый кремний -- электролитические осаждения
Аннотация: Представлены результаты исследований методов наноструктурирования металлических слоев магнетронным распылением, а также с применением пористого кремния. Для анализа морфологических особенностей структур использовались методы атомно-силовой и растровой электронной микроскопии, порометрии, фрактальной геометрии.

Доп.точки доступа:
Тимошенков, С. П.; Гаев, Д. С.; Бойко, А. Н.; Галиуллин, Р. Р.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

16.

Оcобенности фазовых превращений в системе Ni[V]-Pt-Si при ступенчатом стационарном отжиге [Текст] / А. М. Чапланов [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2015. - Т. 79, № 11. - С. 1543-1546 : рис. - Библиогр.: c. 1546 (4 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
кремниевые пластины -- магнетронное распыление -- пленки Pt -- силициды никеля -- ступенчатый стационарный отжиг -- твердые растворы -- фазовые превращения -- электронография на отражение
Аннотация: Методами электронографии "на отражение" исследовались особенности фазовых превращений в системе Ni[V]-Pt-Si при ступенчатом стационарном отжиге. На поверхность кремниевой пластины марки КЭФ-0. 5 с ориентацией (111) методом магнетронного распыления наносилась пленка Pt толщиной 0. 015-0. 02 мкм, а затем - пленка никеля, легированная ванадием толщиной 0. 08 мкм.

Доп.точки доступа:
Чапланов, А. М.; Маркевич, М. И.; Малышко, А. Н.; Щербакова, Е. Н.; Солодуха, В. А.; Турцевич, А. С.; Соловьев, Я. А.; Сарычев, О. Э.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

17.

Определение характеристик эрозионного износа стали 15Х11МФ с ионно-плазменным покрытием Cr-CrC [Текст] / Л. И. Селезнев [и др.] // Теплоэнергетика . - 2016. - № 6. - С. 74-79 . - ISSN 0040-3636

УДК

^a620.193

^a669.1.017

ББК 34.66 + 34.22
Рубрики: Машиностроение
   Коррозия металлов. Защита металлов от коррозии
   Технология металлов
   Металловедение черных металлов и сплавов
Кл.слова (ненормированные):
15Х11МФ -- абразивная стойкость -- абразивный износ -- вакуумные установки -- газоабразивные потоки -- ионно-плазменные покрытия -- магнетронное распыление -- мишени -- стали с ионно-плазменными покрытиями -- эрозионный износ сталей
Аннотация: Представлены результаты исследований влияния защитного ионно-плазменного покрытия Cr- CrC на характеристики и интенсивность эрозионного износа стали 15Х11МФ при угле атаки газоабразивного потока 30 °С и температуре поверхности экспериментального образца (мишени) 550 ° С. Формирование ионно-плазменного покрытия Cr-CrC осуществлялось в вакуумной установке “Гефест” методом магнетронного распыления. Для выполнения исследований характеристик сформированного покрытия использовался комплекс научно-исследовательского и экспериментального оборудования, позволяющий проводить изучение состава и структуры покрытия, измерение его толщины, шероховатости, микротвердости, а также определять его относительную стойкость при совокупном воздействии газоабразивного потока и высоких температур. Покрытие Cr-CrC имеет мелкозернистую структуру с зернами размерами 20-40 нм, содержит слои хрома и карбида хрома. Основным элементом покрытия является хром. Его содержание в карбидных слоях равно 89. 4-91. 9% при содержании углерода 6. 8-9. 5%. Максимальный износ мишени из стали 15Х11МФ наблюдается при угле атаки газоабразивного потока, близком к 30 ° С. При таком угле атаки и температуре поверхности мишени 550 ° С покрытие Cr-CrC не менее чем в 4 раза продлевает время до наступления разрушения поверхности и появления четкого абразивного следа. Разрушение покрытия носит локальный характер - на поверхности мишени образуются островки с покрытием, между которыми происходит интенсивный износ основного материала.

Доп.точки доступа:
Селезнев, Л. И.; Медников, А. Ф.; Тхабисимов, А. Б.; Рыженков, А. В.; Качалин, Г. В.; Зилова, О. С.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : эн.ф. (1)
Свободны: эн.ф. (1)

Найти похожие

18.

Кострин, Д. К. (кандидат технических наук).
Оптический контроль состава газовой смеси в процессе реактивного магнетронного распыления [Текст] / Д. К. Кострин // Контроль. Диагностика. - 2015. - № 5. - С. 47-50. - Библиогр.: с. 50 (12 назв. ) . - ISSN 0201-7032

УДК

^a533.9

^a543.4/.5

ББК 22.333 + 24.46/48
Рубрики: Физика
   Электронные и ионные явления. Физика плазмы
   Химия
   Физико-химические методы анализа
Кл.слова (ненормированные):
газовые смеси -- магнетронное распыление -- нанесение покрытий -- оптические спектрометры -- оптический контроль -- получение тонких пленок -- реактивное распыление -- состав газовых смесей -- спектрометрические комплексы -- спектры излучения плазмы -- тонкие пленки
Аннотация: Проанализированы особенности процесса получения тонких пленок с помощью реактивного магнетронного распыления. Показано, что одной из важнейших технологических задач для данного процесса является контроль состава газовой смеси. Рассмотрено спектральное оборудование, позволяющее проводить диагностирование процесса по спектрам излучения плазмы.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

19.

Джумалиев, А. С.
Осаждение текстурированных пленок NiFe(200) и NiFe(111) на подложки Si/SiO[2] магнетронным распылением на постоянном токе [Текст] / А. С. Джумалиев, Ю. В. Никулин, Ю. А. Филимонов // Физика твердого тела. - 2016. - Т. 58, вып. 5. - С. 1019-1023 : 5 рис. - Библиогр. в конце ст. (21 назв.) . - ISSN 0367-3294

УДК

^a539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
магнетронное распыление -- осаждение текстурированных пленок -- подложки -- постоянный ток -- распыление -- текстурированные пленки
Аннотация: Исследовано влияние температуры T[sub] и напряжения смещения U[bias] подложки на текстуру пленок NiFe, полученных магнетронным распылением на постоянном токе на подложках Si (111) /SiO[2].

Доп.точки доступа:
Никулин, Ю. В.; Филимонов, Ю. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

20.

Медведева, Е. А.
Оценка каталитической активности электродов электрохимических ячеек, синтезированных методом магнетронного распыления, с помощью метода циклической вольтамперометрии [Текст] / Е. А. Медведева // Контроль. Диагностика. - 2015. - № 10. - С. 29-35. - Библиогр.: с. 34-35 (19 назв. ) . - ISSN 0201-7032

УДК

^a543.4/.5

ББК 24.46/48
Рубрики: Химия
Физико-химические методы анализа
Кл.слова (ненормированные):
адсорбция монооксида углерода -- вольтамперометрия -- катализаторы -- каталитическая активность -- магнетронное распыление -- монооксид углерода -- намазные электроды -- нанокомпозитные электроды -- напыленные электроды -- оценка каталитической активности -- платина -- сканирующие электронные микроскопы -- углеродплатиновые электроды -- циклическая вольтамперометрия -- электронные микроскопы -- электрохимические датчики -- электрохимические ячейки
Аннотация: Методом циклической вольтамперометрии проведены исследования площади каталитически активной поверхности платины для двух типов нанокомпозитных углеродплатиновых электродов: синтезированных методом магнетронного распыления углеродплатиновой мишени и полученных с помощью перемешивания платиновой черни с фторопластовой суспензией и затем в виде пасты нанесенные на электрод ("намазная" технология).

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

1-20 21-40

Тематический навигатор

Статистика за 12.09.2024
Число запросов	23108
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)