Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=ионно-физическое травление<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Яфаров Р. К., Шаныгин В. Я.
Заглавие : Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении
Серия: Физика поверхности, тонкие пленки
Место публикации : Физика твердого тела. - 2016. - Т. 58, вып. 2. - С.350-353: 3 рис. - ISSN 0367-3294 (Шифр phtt/2016/58/2). - ISSN 0367-3294
Примечания : Библиогр. в конце ст. (7 назв.)
УДК : 539.2
ББК : 22.37
Предметные рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ионно-физическое травление--кремний--кристаллография в целом--морфологическая неустойчивость--неустойчивость поверхности--травление кристаллов
Аннотация: Изложены результаты исследований динамики релаксационной модификации морфологических характеристик атомно-чистых поверхностей кристаллов кремния (100) различных типов проводимости после СВЧ ионно-физического травления в среде аргона.
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 10.09.2024
Число запросов 55565
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)