Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=диапазоны коротковолновые<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Салащенко Н. Н. (чл.-кор. РАН), Чхало Н. И.
Заглавие : Коротковолновая проекционная нанолитография
Серия: С кафедры Президиума РАН
Место публикации : Вестник Российской академии наук. - 2008. - Т. 78, N 5. - С. С. 450-457: 6 рис. (Шифр vran/2008/78/5)
Примечания : Библиогр.: с. 456-457 (31 назв. )
УДК : 655.34
ББК : 37.83
Предметные рубрики: Полиграфическая промышленность
Плоская печать
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диапазоны коротковолновые--диапазоны ультрафиолетовые--коротковолновые диапазоны--микроэлектронная промышленность--нанолитография--нанолитография проекционная--области спектра--проекционная нанолитография--промышленность микроэлектронная--спектры--ультрафиолетовые диапазоны
Аннотация: На одном из заседаний Президиума РАН рассматривались проводимые в Институте физики микроструктур РАН работы по нанолитографии в ультракороткой области спектра, которым и посвящена публикуемая ниже статья. Результаты этих работ, по мнению участников заседания, можно реально использовать для возрождения отечественной микроэлектронной промышленности.
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.09.2024
Число запросов 10431
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)