Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Усанов, Дмитрий Александрович, Скрипаль, Александр Владимирович, Абрамов, Антон Валерьевич, Боголюбов, Антон Сергеевич, Скворцов, Владимир Сергеевич, Мерданов, Мердан Казимагомедович Заглавие : Использование волноводных фотонных структур для измерения параметров нанометровых металлических слоев на изолирующих подложках Серия: Микроэлектронные приборы и системы Место публикации : Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 6. - С. С. 25-32 Примечания : Библиогр.: с. 32 (10 назв. ) УДК : 621.38 + 621.317 ББК : 32.85 + 31.22 Предметные рубрики: Радиоэлектроника Электроника Энергетика Электрические и магнитные измерения Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фотонные кристаллы--диэлектрики--металлические пленки--волноводные структуры--измерения--отражения Аннотация: Представлены результаты исследования возможности применения фотонных волноводных структур для измерения параметров нанометровых металлических слоев на изолирующих подложках. Доп.точки доступа: Усанов, Дмитрий Александрович; Скрипаль, Александр Владимирович; Абрамов, Антон Валерьевич; Боголюбов, Антон Сергеевич; Скворцов, Владимир Сергеевич; Мерданов, Мердан Казимагомедович