Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Александров С., Алексеев А., Курносова О., Филаретов А. Заглавие : Новое поколение российских установок электронно-лучевого напыления Серия: Промышленные нанотехнологии Место публикации : Наноиндустрия. - 2009. - N 2. - С.10-12: ил.: 3 рис. УДК : 681.2 ББК : 34.9 Предметные рубрики: Приборостроение Приборостроение в целом Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): приборостроение--нанотехнологии--электронно-лучевое напыление--электронно-лучевые напылители--установки Аннотация: Разработка систем электронно-лучевого напыления для осаждения сверхчистых покрытий не только новая область развития техники, но и важнейшее направление аналитического приборостроения в России. Доп.точки доступа: Александров, С.; Алексеев, А.; Курносова, О.; Филаретов, А.