Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Шаронов Г. В., Петров С. А. Заглавие : Суперфинишная полировка алмазных подложек для эпитаксиальных технологий Серия: Разное Место публикации : Инженерно-физический журнал. - 2011. - Т. 84, № 5. - С.1100-1103. - ISSN 0021-0285 (Шифр iphz/2011/84/5). - ISSN 0021-0285 Примечания : Библиогр.: с. 1103 (10 назв. ) УДК : 621.3 ББК : 31.2 Предметные рубрики: Энергетика Электротехника в целом Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): монокристаллическая синтетическая алмазная подложка--шлифовка--суперфинишная вибрационная полировка--эпитаксиальная технология--шероховатость--совершенство кристаллической структуры--угол дифракции рентгеновских лучей--асимметрия кривой отражения рентгеновских лучей--полуширина Аннотация: Проведена оптимизация режимов суперфинишной виброполировки монокристаллических синтетических алмазных подложек. Установлено, что после их полировки в течение 100 ч шероховатость поверхности составила 0. 43 нм. Предложена и обоснована методика контроля структурного совершенства приповерхностного слоя алмазных подложек после их шлифовки и полировки. Доп.точки доступа: Петров, С. А.