Технология плазменного наноразмерного травления металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержащих газовых смесях [Текст] / А. М. Ефремов [и др. ] // Нанотехника. - 2010. - N 2 (22). - С. 77-81. : 5 рис. - Библиогр.: c. 81 (3 назв. )
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): наноразмерное травление металлов -- полупроводники -- бинарные смеси -- хлорсодержащие газовые смеси -- плазма Аннотация: Исследовано влияние внешних параметров разряда в смесях на электрофизические свойства плазмы. Доп.точки доступа: Ефремов, А. М.; Светцов, В. И.; Пивоваренок, С. А.; Дунаев, А. В. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |