Белов, Алексей Николаевич. Локальное травление кремния с использованием твердой маски на основе пористого оксида алюминия [Текст] / А. Н. Белов // Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 1. - С. 11-14 : фото. - Библиогр.: с. 14 (4 назв. )
Рубрики: Машиностроение Станки и инструменты Кл.слова (ненормированные): наноструктуры -- оксиды -- алюминий -- кремний -- твердые маски -- травление Аннотация: Рассмотрены технологические особенности нанопрофилирования кремния, защищенного твердой маской на основе пористого оксида алюминия. |