Феноменологическое описание процесса диспергирования на капли тонких пленок кремния толщиной 8-60 нм на инертной поверхности Al{2}O{3} [Текст] / А. А. Буздуган [и др. ] // Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 2. - С. 21-28. - Библиогр.: с. 27-28 (19 назв. )
Рубрики: Механика Гидромеханика Кл.слова (ненормированные): диспергирование -- тонкие пленки -- плавление -- кремний -- электронная микроскопия -- инертные поверхности -- оксиды аллюминия -- растровая микроскопия -- феноменологическое описание -- процессы -- оксиды -- алюминий -- нагревы -- вакуумы Аннотация: Исследован процесс диспергирования аморфных тонких пленок кремния толщиной 8-60нм на поверхности оксида алюминия с использованием методов растровой электронной микроскопии и измерения тока через тонкую пленку непосредственно в процессе нагрева в вакууме. Доп.точки доступа: Буздуган, Алексей Анатольевич; Гаврилов, Сергей Александрович; Громов, Дмитрий Геннадьевич; Редичев, Евгений Николаевич; Чулков, Игорь Сергеевич |