Милешко, Леонид Петрович. Механизмы формирования легированного фосфором или бором анодного SiO{2} на карбиде кремния [Текст] / Л. П. Милешко // Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 2. - С. 10-15. - Библиогр.: с. 15 (10 назв. )
Рубрики: Химия Физическая химия. Химическая физика Энергетика Электрические и магнитные измерения Кл.слова (ненормированные): полупроводниковая электроника -- полупроводниковые материалы -- термодинамический анализ -- анодные реакции -- ЛАОП -- легированные анодные оксидные пленки -- карбид кремния -- анионы -- анодирование -- легирующие компоненты -- формирование -- механизмы Аннотация: Подробно рассмотрены гепотетические механизмы взаимодейтсивя анионов с карбидом кремния в процессе его анодирования в электролитах с легирующими компонентами. |