Реле на основе МЭМС с электростатическим принципом управления [Текст] / С. П. Тимошенков [и др. ] // Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 4. - С. 44-50 : ил. - Библиогр.: с. 49-50 (3 назв. )
Рубрики: Энергетика Электрический нагрев Кл.слова (ненормированные): микромеханические системы -- микромеханические реле -- технологические процессы -- сборка -- технологии Аннотация: Составлена технологическая схема изготовления микромеханического реле. Доп.точки доступа: Тимошенков, Сергей Петрович; Зотов, Сергей Александрович; Калугин, Виктор Владимирович; Рубчиц, Вадим Григорьевич; Захаров, Алексей Анатольевич |