Использование волноводных фотонных структур для измерения параметров нанометровых металлических слоев на изолирующих подложках [Текст] / Д. А. Усанов [и др. ] // Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 6. - С. 25-32. - Библиогр.: с. 32 (10 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника Энергетика Электрические и магнитные измерения Кл.слова (ненормированные): фотонные кристаллы -- диэлектрики -- металлические пленки -- волноводные структуры -- измерения -- отражения Аннотация: Представлены результаты исследования возможности применения фотонных волноводных структур для измерения параметров нанометровых металлических слоев на изолирующих подложках. Доп.точки доступа: Усанов, Дмитрий Александрович; Скрипаль, Александр Владимирович; Абрамов, Антон Валерьевич; Боголюбов, Антон Сергеевич; Скворцов, Владимир Сергеевич; Мерданов, Мердан Казимагомедович |