Надоленко, В. Системы очистки воздуха в микроэлектронном производстве [Текст] / В. Надоленко // Наноиндустрия. - 2011. - N 6. - С. 16-18. : ил.: 10 рис.
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Строительство Вентиляция Кондиционирование воздуха Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- очистка воздуха -- скрубберы -- стрингеры -- вентиляторы Аннотация: Вопрос очистки использованного в производстве воздуха выливается в инженерную задачу, требующую специфических решений и оборудования. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |