Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Гаман В. И., Анисимов О. В., Максимова Н. К., Сергейченко Н. В., Севастьянов Е. Ю., Черников Е. В. Заглавие : Влияние паров воды на электрические и газочувствительные свойства тонкопленочных сенсоров на основе диоксида олова Серия: Физика полупроводников и диэлектриков Место публикации : Известия вузов. Физика. - 2008. - Т. 51, N 8. - С. 50-56 (Шифр izph/2008/51/8) Примечания : Библиогр.: c. 56 (11 назв. ) УДК : 541.6 ББК : 24.7 Предметные рубрики: Химия Химия высокомолекулярных соединений Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): влияние паров воды на свойства сенсоров--газочувствительность сенсоров--диоксид олова--сенсоры водорода--тонкопленочные сенсоры--электропроводность газовых сенсоров Аннотация: Представлены результаты теоретического и экспериментального исследования влияния паров воды на электропроводность газового сенсора и его отклик при воздействии водорода. На основе гипотезы о наличии областей пространственного заряда, обедненных электронами, между зернами Sn02 в поликристаллической пленке диоксида олова получено выражение, описывающее зависимость электрической проводимости в чистом воздухе Go от абсолютной влажности. За счет диссоциативной хемосорбции молекул воды уменьшается изгиб энергетических зон на границе раздела зерен Sn02 и увеличивается концентрация вакансий кислорода в зернах, что приводит к росту Go. Получено выражение для отклика сенсора на воздействие водорода (отношение проводимости сенсора при наличии молекулярного водорода в газовой смеси G1 к Go). Это выражение хорошо описывает зависимость G1/GO от концентрации водорода пН2 в интервале 50--{) '1 03 ррт, а также от изгиба зон на границе раздела зерен и от температуры сенсора. Полученные в результате обработки экспериментальных данных зависимости проводимости сенсора, максимально возможной проводимости, изгиба энергетических зон от температуры и аб-солютной влажности соответствуют предсказаниям теории. Доп.точки доступа: Гаман, В. И.; Анисимов, О. В.; Максимова, Н. К.; Сергейченко, Н. В.; Севастьянов, Е. Ю.; Черников, Е. В. |