Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Алексейчик Л. В. Заглавие : Исследование электрофизических параметров тонких пленок и пленочных покрытий методом диэлектрического СВЧ резонатора Серия: Сообщения Место публикации : Электричество. - 2008. - N 7. - С. С. 63-65: 4 рис. (Шифр elec/2008/7) Примечания : Библиогр.: с. 65 (2 назв. ) УДК : 621.317 ББК : 31.22 Предметные рубрики: Энергетика Электрические и магнитные измерения в целом Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): измерение электрических величин--параметры электрофизические--пленочные покрытия--покрытия пленочные--резонаторы свч--сверхвысокочастотные резонаторы--свч резонаторы--тонкие пленки--электрофизические параметры Аннотация: Представлены результаты измерений тонких диэлектрических пленок, частично металлизированных с одной стороны и изготовленных по технологии так называемых перколяционных систем. Подобные системы обладают повышенными значениями наведенной эффективной диэлектрической проницаемости и технологически управляемым тангенсом угла потерь. Описана конструкция измерительной установки в виде волноводной осесимметричной резонансной системы на основе диэлектрического резонатора, позволяющая измерять электрофизические параметры пленок с повышенной точностью.