Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Гриценко В. А. Заглавие : Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния Серия: Обзоры актуальных проблем Место публикации : Успехи физических наук. - 2008. - Т. 178, N 7. - С. С. 727-737: 20 рис., 1 табл. (Шифр upna/2008/178/7) Примечания : Библиогр.: с. 737 (30 назв. ) ГРНТИ : 29.19 УДК : 539.2 ББК : 22.37 Предметные рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): атомная структура--нитриды кремния--аморфные нестехиометрические оксиды--аморфные пленки--диэлектрики--физические свойства соединений Аннотация: Аморфные пленки оксида и нитрида кремния являются двумя ключевыми диэлектриками в современных кремниевых приборах. Изменение химического состава этих соединений позволяет в широком диапазоне управлять их физическими (оптическими и электрическими) свойствами.