Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Бородин С. О., Рубцов В. П., Емельянов А. Л., Ивашин А. Д. Заглавие : Система управления процессом нанесения покрытия в электронно-лучевой установке Серия: Электротехника, электромеханика Место публикации : Вестник Московского энергетического института. - 2007. - N 5. - С. С. 45-51 (Шифр vmei/2007/5) Примечания : Библиогр.: с. 51 (3 назв. ) УДК : 621.3 ББК : 31.2 Предметные рубрики: Энергетика Электротехника в целом Аннотация: Рассматривается предложенная авторами система автоматического регулирования скорости испарения материала в электронно-лучевой установке для нанесения покрытий, в которой используется оригинальный датчик ионного потока. Доп.точки доступа: Бородин, С. О.; Рубцов, В. П.; Емельянов, А. Л.; Ивашин, А. Д. |