Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Сергеева О. Н., Солнышкин А. В., Киселев Д. А., Ильина Т. С., Кукушкин С. А., Шарофидинов Ш. Ш., Каптелов Е. Ю., Пронин И. П. Заглавие : Влияние ориентации кремниевой подложки с буферным подслоем карбида кремния на диэлектрические и полярные свойства пленок нитрида алюминия Серия: Сегнетоэлектричество Место публикации : Физика твердого тела. - 2019. - Т. 61, вып. 12. - С.2379-2384: 5 рис. - ISSN 0367-3294 (Шифр phtt/2019/61/12). - ISSN 0367-3294 Примечания : Библиогр. в конце ст. (24 назв.) УДК : 539.21:537 ББК : 22.373 Предметные рубрики: Физика Электрические и магнитные свойства твердых тел --Россия --Санкт-Петербург, 2019 г. Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): буферные слои--вицинальные поверхности--доклады--карбид кремния--конференции--нитрид алюминия--пироэлектрический эффект--подложки кремния--пьезоэлектрический эффект--тонкие слои Аннотация: Исследуются диэлектрические и полярные свойства тонких пленок нитрида алюминия, эпитаксиально выращенных на различно ориентированных кремниевых подложках p-типа проводимости с буферным подслоем карбида кремния, а также на вицинальных плоскостях. Доп.точки доступа: Сергеева, О. Н.; Солнышкин, А. В.; Киселев, Д. А.; Ильина, Т. С.; Кукушкин, С. А.; Шарофидинов, Ш. Ш.; Каптелов, Е. Ю.; Пронин, И. П.