Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Кютт Р. Н. Заглавие : О роли вторичной экстинкции при измерении интегральной интенсивности рентгенодифракционных пиков и определении толщины нарушенных эпитаксиальных слоев Серия: Полупроводники Место публикации : Физика твердого тела. - 2016. - Т. 58, вып. 6. - С.1058-1064: 4 рис., 2 табл. - ISSN 0367-3294 (Шифр phtt/2016/58/6). - ISSN 0367-3294 Примечания : Библиогр. в конце ст. (18 назв.) УДК : 537.311.33 ББК : 22.379 Предметные рубрики: Физика Физика полупроводников и диэлектриков Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): вторичная экстинкция--нарушенные эпитаксиальные слои--рентгенодифракционные пики--экстинкция--эпитаксиальные слои Аннотация: Измерены интегральные интенсивности рентгенодифракционных отражений для серии эпитаксиальных слоев AIII-нитридов (GaN, AlN, AlGaN), выращенных на разных подложках и имеющих разную степень структурного совершенства.