Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Горбунов Э. А., Лавров П. П., Першин В. А., Серегин Д. С., Хабаров И. А. Заглавие : Вольт-фарадные характеристики планарных наноструктур на основе сегнетоэлектрических пленок Серия: Физика наноматериалов и наноструктур Место публикации : Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. - 2012. - Т. 3, № 1. - С.18-20. - ISSN 2225-0999 (Шифр ninm/2012/3/1). - ISSN 2225-0999 Примечания : Библиогр.: c. 20 УДК : 621.315.55/.58 + 621.7 ББК : 31.232 + 30.68 Предметные рубрики: Проводниковые материалы и изделия Энергетика Техника Обработка материалов Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): цтс--вольт-фарадные характеристики--золь-гель методы--наноструктуры--планарные наноструктуры--пленки цирконата-титаната свинца--сегнетоэлектрические пленки--цирконат-титанат свинца Аннотация: Исследованы вольт-фарадные характеристики (ВФХ) планарных наноструктур на основе пленок ЦТС различной толщины, сформированных золь-гель методом на подложках Si/SiO_2_/TiO_2_/Pt для различного рода функциональных гетероструктур интегральных схем. Доп.точки доступа: Горбунов, Э. А.; Лавров, П. П.; Першин, В. А.; Серегин, Д. С.; Хабаров, И. А.