Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Барышева М. М., Вайнер Ю. А., Зуев С. Ю., Полковников В. Н., Салащенко Н. Н., Стариков С. Д. Заглавие : Многослойные зеркала La/B[4]C для спектральной области вблизи 6.7 нм Место публикации : Известия РАН. Серия физическая. - 2013. - Т. 77, № 1. - С.29-32. - ISSN 0367-6765 (Шифр ranf/2013/77/1). - ISSN 0367-6765 Примечания : Библиогр.: с. 32 (5 назв. ) УДК : 621.793.164 ББК : 34.64 Предметные рубрики: Машиностроение Соединения деталей машин Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): барьерные слои--коэффициенты отражения--магнетронное распыление--многослойные зеркала--проекционная экстремально ультрафиолетовая литография--спектральная селективность--шероховатость поверхности Аннотация: Представлены результаты измерений коэффициентов отражения многослойных зеркал La/B[4]C с барьерными слоями углерода и скандия. Показано, что большее отражение достигается при осаждении слоя углерода на карбид бора. Эффект достигается вследствие уменьшения поглощения в структуре и сокращения ширины переходных областей. Доп.точки доступа: Барышева, М. М.; Вайнер, Ю. А.; Зуев, С. Ю.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Стариков, С. Д.