Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Алхасов С. С., Милешко Л. П. Заглавие : Особенности кинетики гальваностатического анодирования кремния в фосфатных и боратных электролитах на основе этиленгликоля Серия: Функциональные покрытия и обработка поверхности Место публикации : Физика и химия обработки материалов. - 2012. - № 6. - С.51-53. - ISSN 0015-3214 (Шифр phch/2012/6). - ISSN 0015-3214 УДК : 621.77.016 ББК : 34.51/59 Предметные рубрики: Машиностроение Обработка металлов Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): анодирование--кремний--гальваностатический режим--оксидные пленки--анодные пленки--легирование бором--легирование фосфором--легирование--монооксид кремния--этиленгликоль Аннотация: Экспериментально исследована кинетика гальваностатического процесса роста анодных оксидных пленок кремния в различных электролитах на основе этиленгликоля. На основании полученных данных сделан вывод, что лимитирующей стадией процесса является реакция образования промежуточного монооксида кремния. Доп.точки доступа: Милешко, Л. П.