Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Барышева М. М., Пестов А. Е., Салащенко Н. Н., Торопов М. Н., Чхало Н. И. Заглавие : Прецизионная изображающая многослойная оптика Серия: Приборы и методы исследований Место публикации : Успехи физических наук. - 2012. - Т. 182, № 7. - С.727-747: 16 рис., 6 табл. - ISSN 0042-1294 (Шифр upna/2012/182/7). - ISSN 0042-1294 Примечания : Библиогр.: с. 745-747 (126 назв.) ГРНТИ : 29.31.15 УДК : 535-34/-36 + 535.2/.3 ББК : 22.346 + 22.343 Предметные рубрики: Физика Рентгеновские лучи. Гамма-лучи Физическая оптика Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): многослойная оптика--электромагнитные поля--рентгеновская микроскопия--ультрафиолетовое излучение--рентгеновская оптика--фотолитография--оптические системы Аннотация: Работа посвящена фундаментальным проблемам изготовления и тестирования, а также применениям в диапазоне длин волн 2-60 нм оптики, обеспечивающей дифракционное качество изображений и востребованной для проекционной литографии, рентгеновской микроскопии, астрофизики и для фундаментальных исследований в области взаимодействия вещества (вакуума) со сверхсильными электромагнитными полями. Доп.точки доступа: Барышева, М. М.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Торопов, М. Н.; Чхало, Н. И.