Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Зайнабидинов С., Надыров Д. Э. Заглавие : Диффузия, растворимость и электрические свойства скандия и празеодима в кремнии Серия: Физика полупроводников и диэлектриков Место публикации : Известия вузов. Физика. - 2007. - Т. 50, N 1. - С. 75-77 (Шифр izph/2007/50/1) Примечания : Библиогр.: с. 77 (8 назв. ) ISSN: 0021-3411 УДК : 621.3.08 + 621.315.592.3:546.28{,}65 ББК : 31.24 Предметные рубрики: Энергетика-- Техника высоких измерений Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): акцепторная природа примесей--празеодим--скандий--холла эффект--эффект холла Аннотация: Впервые проведены комплексные исследования диффузии, растворимости и электрических свойств скандия и празеодима в кремнии при различных средах отжига и для широкого интервала температур (1100-1280 С). Установлены диффузионные параметры, растворимость и выявлена акцепторная природа исследованных примесей в кремнии. Доп.точки доступа: Надыров, Д. Э. |