Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Погребняк А. Д., Пономарев А. Г., Шпак А. П., Куницкий Ю. А. Заглавие : Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов Место публикации : Успехи физических наук. - 2012. - Т. 182, № 3. - С.287-321: 22 рис., 5 табл. - ISSN 0042-1294 (Шифр upna/2012/182/3). - ISSN 0042-1294 Примечания : Библиогр.: с. 319-321 (217 назв.) ГРНТИ : 29.19.22 УДК : 539.2 ББК : 22.37 Предметные рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ионы--наносистемы--нанообъекты--малоразмерные структуры--нанозонды--микрозонды--сверхвысокочастотная микроскопия--резистивные материалы--микрозондирование--3d-материалы Аннотация: Рассмотрены физические основы взаимодействия ионов с веществом в твердой фазе, особое внимание уделено образованию продуктов взаимодействия ионов с атомами исследуемых веществ. Описаны процессы модификации высокоомных материалов и их использование в технологии малоразмерных 3D структур. Доп.точки доступа: Погребняк, А. Д.; Пономарев, А. Г.; Шпак, А. П.; Куницкий, Ю. А.