Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Барышева М. М., Вайнер Ю. А., Грибков Б. А., Зорина М. В., Пестов А. Е., Салащенко Н. Н., Храмков Р. А., Чхало Н. И. Заглавие : Развитие шероховатости сверхгладких поверхностей при ионно-пучковом травлении Место публикации : Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 2. - С.190-195. - ISSN 0367-6765 (Шифр ranf/2012/76/2). - ISSN 0367-6765 Примечания : Библиогр.: с. 195 (9 назв. ) УДК : 538.971 ББК : 22.3 Предметные рубрики: Физика Общие вопросы физики Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ионно-пучковое травление--кристаллический кремний--многослойная структура cr/sc--многослойные структуры--плавленый кварц--сверхгладкие поверхности--шероховатость поверхности Аннотация: Изучается поведение шероховатости поверхностей многослойной структуры Cr/Sc, кристаллического кремния [100] и плавленого кварца при ионно-пучковом травлении в области средних и высоких частот пространственного спектра (10{-2} - 10{2} мкм{-1}). Показана возможность сохранения шероховатости поверхности на уровне сигма ~ 0. 3 нм при травлении атомами/ионами Ar на глубину до 10 мкм. Доп.точки доступа: Барышева, М. М.; Вайнер, Ю. А.; Грибков, Б. А.; Зорина, М. В.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Храмков, Р. А.; Чхало, Н. И.