Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Дунаев А. В., Пивоваренок С. А., Семенова О. А., Капинос С. П., Ефремов А. М., Светцов В. И. Заглавие : Кинетика и механизмы плазмохимического травления GaAs в хлоре и хлороводороде Серия: Плазмохимические способы получения и обработки материалов Место публикации : Физика и химия обработки материалов. - 2010. - N 6. - С. 42-46 (Шифр phch/2010/6) УДК : 537.525 ББК : 34.51/59 Предметные рубрики: Машиностроение Обработка металлов Аннотация: Весовым методом изучена кинетика плазмохимического травления GaAs в плазме Cl2 и HCl. Установлено, что в начальный период травления процесс носит нестационарный характер, при этом длительность переходной стадии в плазме HCl существенно короче. Скорость травления в плазме Cl2 в 3-4 раза выше, чем в плазме HCl. Обработка в плазме HCl обеспечивает более высокую равномерность травления и качество поверхности GaAs. Доп.точки доступа: Дунаев, А. В.; Пивоваренок, С. А.; Семенова, О. А.; Капинос, С. П.; Ефремов, А. М.; Светцов, В. И.