Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Абрамов А. В., Никонов А. И. Заглавие : Метод компенсации дополнительной погрешности измерения параметров микрорельефа на основе использования оптико-электронного комплекса Серия: Измерения, контроль, диагностика Место публикации : Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. - 2010. - N 8. - С. 34-42: 8 рис. (Шифр ukod/2010/8) Примечания : Библиогр.: с. 42 (12 назв. ) ГРНТИ : 50.09.37 УДК : 621.398 ББК : 32.96 Предметные рубрики: Радиоэлектроника Автоматика и телемеханика Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): оптико-электронные комплексы--преобразователи--параметры микрорельефа--погрешности--компенсации погрешности--световые потоки--автокорреляционные функции Аннотация: Рассматривается метод компенсации дополнительной погрешности измерения оптико-электронными средствами параметров микрорельефа поверхности, которая возникает вследствие отклонения уровня светового потока от его номинального значения. Метод основывается на определении автокорреляционных функций по изображениям анализируемых поверхностей. Доп.точки доступа: Никонов, А. И. |