Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Неволин В. Н., Фоминский В. Ю., Гнедовец А. Г., Романов Р. И.
Заглавие : Импульсное лазерное осаждение наноструктурированных композитных покрытий
Серия: Функциональные покрытия и обработка поверхности
Место публикации : Физика и химия обработки материалов. - 2010. - N 1. - С.54-64. - ISSN 0015-3214 (Шифр phch/2010/1). - ISSN 0015-3214
УДК : 539.2
ББК : 22.37
Предметные рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Аннотация: Разработана двухмерная компьютерная Монте-Карло модель лазерно-инициированного разлета атомов от бинарной мишени в вакууме или в инертном газе. Процесс распространения атомарного потока моделируется с учетом наличия противокапельной дисковой заслонки, улавливающей макроскопические частицы и капли из эрозионного потока. В теневую область за заслонкой могут попадать атомы испаренного вещества, изменившие свою траекторию в результате столкновений с молекулами буферного газа. Возможности модели по прогнозированию энергетического спектра и угловой диаграммы осаждаемого потока атомов продемонстрированы на примере импульсного лазерного осаждения покрытий, содержащих атомы с сильно различающимися физическими параметрами (Mo, Se, Ni, C).

Доп.точки доступа:
Неволин, В. Н.; Фоминский, В. Ю.; Гнедовец, А. Г.; Романов, Р. И.