Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Фараджев Н. С., Хилл Ш. Б., Лукаторто Т. Б., Якшинский Б. В., Мэди Т. Е. Заглавие : Загрязнение поверхности и время жизни оптики для ЭУФ-нанолитографии Место публикации : Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 1. - С.34-38: Рис. - ISSN 0367-6765 (Шифр ranf/2010/74/1). - ISSN 0367-6765 Примечания : Библиогр.: c. 38 (15 назв. ) УДК : 544.723.2.023.2 ББК : 24.58 Предметные рубрики: Химия Физическая химия поверхностных явлений Аннотация: В работе обсуждаются элементарные процессы, приводящие к загрязнению поверхности оптики литографии экстремального ультрафиолета. Доп.точки доступа: Фараджев, Н. С.; Хилл, Ш. Б.; Лукаторто, Т. Б.; Якшинский, Б. В.; Мэди, Т. Е.