Электродинамическая теория ближнепольной СВЧ-микроскопии плоскослоистых структур и ее применение для метрологии тонких диэлектрических пленок [Текст] / А. Н. Резник [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2009. - Т. 73, N 1. - С. 46-50. . - Библиогр.: c. 50 (13 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Теоретические основы радиотехники Энергетика Электрические и магнитные измерения в целом Кл.слова (ненормированные): ближнепольная СВЧ-микроскопия -- электродинамическая теория -- тонкие диэлектрические пленки -- диэлектрическая проницаемость -- плоскослоистые структуры -- ближнепольные микроскопы Аннотация: Развита теория ближнепольной СВЧ-микроскопии планарных структур. Доп.точки доступа: Резник, А. Н.; Таланов, В. В.; Шерешевский, И. А.; Вдовичева, Н. К. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |