Жуков, В. А. Предельное разрешение в низковольтных FIB без коррекции хроматической аберрации [Текст] / В. А. Жуков // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 11. - С. 1546-1549. : рис. - Библиогр.: c. 1549 (15 назв. )
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Радиоэлектроника Электровакуумные приборы Кл.слова (ненормированные): сканирующая ионная микроскопия -- низковольтные микро-FIB -- предельное разрешение -- хроматическая аберрация -- 3D-структуры -- ионно-оптические системы Аннотация: Разрешение в сканирующем ионном микроскопе (FIB) определяется двумя факторами: величиной изображения ионного источника на мишени и рассеянием частиц в мишени. Предлагается и рассчитывается модель низковольтного микро-FIB, в которой уменьшено действие этих факторов. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |