Гриценко, В. А. Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния [Текст] / В. А. Гриценко // Успехи физических наук. - 2008. - Т. 178, N 7. - С. 727-737 : 20 рис., 1 табл. - Библиогр.: с. 737 (30 назв. )
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): атомная структура -- нитриды кремния -- аморфные нестехиометрические оксиды -- аморфные пленки -- диэлектрики -- физические свойства соединений Аннотация: Аморфные пленки оксида и нитрида кремния являются двумя ключевыми диэлектриками в современных кремниевых приборах. Изменение химического состава этих соединений позволяет в широком диапазоне управлять их физическими (оптическими и электрическими) свойствами. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |