Сотников, В. М. Эволюция геометрии конуса при ионной бомбардировке [Текст] / В. М. Сотников // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 5. - С. 636-640 : Рис. - Библиогр.: c. 640 (13 назв. )
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): компьютерное моделирование -- ионно-стимулированная миграция -- распыление -- поверхности -- ионная бомбардировка -- волновой рельеф -- моделирование -- геометрия конуса -- остроконечные неровности Аннотация: Методом компьютерного моделирования с учетом распыления и ионно-стимулированной миграции атомов исследована эволюция профиля конуса, развивающегося под действием ионной бомбардировки на дне ямки травления. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |