Масловская, А. Г. Моделирование теплового воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии [Текст] / А. Г. Масловская // Информатика и системы управления. - 2007. - N 2 (14). - С. 40-51. - Библиогр.: с. 51 (8 назв.) . - ISSN 1814-2400
Рубрики: Физика Электростатика Кл.слова (ненормированные): нестационарные тепловые поля -- электронные пучки -- растровый электронный микроскоп -- температурные поля -- сфокусированные источники тепла -- моделирование тепловых полей -- сегнетоэлектрический кристалл -- электронный зонд -- температурный перегрев Аннотация: Проведено моделирование нестационарных тепловых полей, возникающих при взаимодействии электронных пучков растрового электронного микроскопа с исследуемыми образцами. Представлено обобщенное решение задачи о влиянии сфокусированных источников тепла различных конфигураций. Рассчитаны температурные поля при заданных теплофизических характеристиках образца и параметрах эксперимента для различных типов растрового электронного микроскопа. Имеются экземпляры в отделах: всего 5 : н.з. (1), ч.з. (1), эн.ф. (1), аб. (2) Свободны: н.з. (1), ч.з. (1), эн.ф. (1), аб. (2) |