Саханский, С. П. (канд. техн. наук, доц.). Управление температурой нагревателя на установке выращивания монокристаллов германия [Текст] / С. П. Саханский // Мехатроника, автоматизация, управление. - 2008. - N 1. - С. 42-46 : ил. - Библиогр.: с. 46 (10 назв. )
Рубрики: Технология металлов Общая технология металлов Кл.слова (ненормированные): монокристаллы -- монокристаллы германия -- выращивание монокристаллов -- нагреватели -- управление температурой -- германий -- способ Чохральского -- Чохральского способ Аннотация: Предложена математическая модель формирования задания температуры на установке выращивания монокристаллов германия по способу Чохральского, которая позволяет автоматизировать процесс его ввода в микропроцессорную систему управления установкой. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |