Система управления процессом нанесения покрытия в электронно-лучевой установке [Текст] / С. О. Бородин [и др. ] // Вестник Московского энергетического института. - 2007. - N 5. - С. 45-51. - Библиогр.: с. 51 (3 назв. )
Рубрики: Энергетика Электротехника в целом Кл.слова (ненормированные): электронно-лучевые установки -- системы автоматизированного регулирования -- датчики -- ионные потоки -- математические модели -- испарение материалов Аннотация: Рассматривается предложенная авторами система автоматического регулирования скорости испарения материала в электронно-лучевой установке для нанесения покрытий, в которой используется оригинальный датчик ионного потока. Доп.точки доступа: Бородин, С. О.; Рубцов, В. П.; Емельянов, А. Л.; Ивашин, А. Д. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : эн.ф. (1) Свободны: эн.ф. (1) |