Изготовление сверхпроводниковых туннельных структур с использованием электронно-лучевой литографии [Текст] / М. Ю. Фоминский, Л. В. Филиппенко, А. М. Чекушкин, В. П. Кошелец // Физика твердого тела. - 2021. - Т. 63, вып. 9. - С. 1228-1232 : 8 рис. - Библиогр. в конце ст. (7 назв.) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Электрические и магнитные свойства твердых тел--Россия--Нижний Новгород, 2021 г. Кл.слова (ненормированные): магнетронное напыление -- международные симпозиумы -- негативный электронный резист -- плазмохимическое травление -- сверхпроводниковые туннельные структуры -- симпозиумы -- субмикронные переходы -- туннельные структуры -- электронно-лучевая литография Аннотация: Разработана и оптимизирована технология изготовления субмикронных переходов Nb-AlN-NbN с использованием электронно-лучевой литографии. Доп.точки доступа: Фоминский, М. Ю.; Филиппенко, Л. В.; Чекушкин, А. М.; Кошелец, В. П.; Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника"; "Нанофизика и наноэлектроника", международный симпозиум Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : н.з. (1) Свободны: н.з. (1) |