Синтез тонких пленок TiN, Ti и TiSi[2] для контактной системы солнечных элементов [Текст] / К. Х. Нусупов, Н. Б. Бейсенханов, Д. И. Бакранова [и др.] // Физика твердого тела. - 2020. - Т. 62, вып. 1. - С. 46-51 : 6 рис. - Библиогр. в конце ст. (19 назв.) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом--Россия--Санкт-Петербург, 2019 г. Кл.слова (ненормированные): Ti -- TiN -- диапазон мощности 690-1400 W -- диффузионные барьеры -- доклады -- конференции -- кремний -- кристаллография в целом -- магнетроны -- международные конференции -- нитрид титана -- солнечные элементы -- титан Аннотация: Проанализировано влияние таких параметров осаждения как мощность магнетрона в диапазоне 690-1400 W. Доп.точки доступа: Нусупов, К. Х.; Бейсенханов, Н. Б.; Бакранова, Д. И.; Кейнбай, С.; Турахун, А. А.; Султан, А. А. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : н.з. (1) Свободны: н.з. (1) |