Егоров, В. К. Ионно-пучковые и рентгеновские методы элементной диагностики тонкопленочных покрытий [Текст] / В. К. Егоров, Е. В. Егоров, М. С. Афанасьев // Физика твердого тела. - 2019. - Т. 61, вып. 12. - С. 2454-2460 : 5 рис. - Библиогр. в конце ст. (24 назв.) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом--Россия--Санкт-Петербург, 2019 г. Кл.слова (ненормированные): доклады -- конференции -- кристаллография в целом -- резерфордовское обратное рассеяние -- рентгенофлуоресцентная диагностика -- рентгенофлуоресцентный анализ -- тонкопленочные покрытия -- элементная диагностика Аннотация: Показано, как совместное использование методов резерфордовского обратного рассеяния ионов, рентгенофлуоресцентного анализа позволяет эффективно диагностировать элементный состав тонкопленочных покрытий и пленок сухих остатков жидкостей. Доп.точки доступа: Егоров, Е. В.; Афанасьев, М. С. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |