Влияние ориентации кремниевой подложки с буферным подслоем карбида кремния на диэлектрические и полярные свойства пленок нитрида алюминия [Текст] / О. Н. Сергеева, А. В. Солнышкин, Д. А. Киселев [и др.] // Физика твердого тела. - 2019. - Т. 61, вып. 12. - С. 2379-2384 : 5 рис. - Библиогр. в конце ст. (24 назв.) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Электрические и магнитные свойства твердых тел--Россия--Санкт-Петербург, 2019 г. Кл.слова (ненормированные): буферные слои -- вицинальные поверхности -- доклады -- карбид кремния -- конференции -- нитрид алюминия -- пироэлектрический эффект -- подложки кремния -- пьезоэлектрический эффект -- тонкие слои Аннотация: Исследуются диэлектрические и полярные свойства тонких пленок нитрида алюминия, эпитаксиально выращенных на различно ориентированных кремниевых подложках p-типа проводимости с буферным подслоем карбида кремния, а также на вицинальных плоскостях. Доп.точки доступа: Сергеева, О. Н.; Солнышкин, А. В.; Киселев, Д. А.; Ильина, Т. С.; Кукушкин, С. А.; Шарофидинов, Ш. Ш.; Каптелов, Е. Ю.; Пронин, И. П. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |