Рубцова, К. И. Зависимость свойств вариативных градиентно-пористых структур кремния от метода формирования [Текст] / К. И. Рубцова, М. Д. Силина // Физика твердого тела. - 2019. - Т. 61, вып. 12. - С. 2308-2311 : 5 рис. - Библиогр. в конце ст. (5 назв.) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Физика полупроводников и диэлектриков--Россия--Санкт-Петербург, 2019 г. Кл.слова (ненормированные): анодное травление -- доклады -- конференции -- коэффициент отражения -- кремний -- пористый кремний Аннотация: Показаны зависимости скорости глубокого анодного травления и глубины пористого слоя образцов градиентно-пористых структур кремния с кристаллографическими ориентациями (100) и (111) от плотности анодного тока. Доп.точки доступа: Силина, М. Д. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |