Белозубов, Е. М. Уменьшение влияния термоэлектрических явлений в МЭМС-структурах на выходной сигнал тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильева // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. - 2008. - N 1. - С. 27-30 : 5 рис. - Библиогр.: с. 30 (10 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Автоматика и телемеханика Кл.слова (ненормированные): датчики -- тонкопленочные датчики -- тензорезисторные датчики -- датчики давления -- нестационарные температуры -- термоудары Аннотация: Описаны методы уменьшения влияния термоэлектрических явлений на выходной сигнал ТТДД. Разработаны рекомендации по совершенствованию МЭМС-структур ТТДД, работающих в условиях нестационарных температур (термоудара). Доп.точки доступа: Белозубова, Н. Е.; Васильева, В. А. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |