Компьютерная система автоматического контроля толщины напыляемых тонких пленок [Текст] / В. В. Наумов, О. А. Гребенщиков, В. Б. Залесский, В. М. Кравченко // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. - 2007. - N 12. - С. 53-55 : 2 рис. - Библиогр.: с. 55 (7 назв. )
Рубрики: Вычислительная техника Компьютерные сети Кл.слова (ненормированные): компьютерные системы -- тонкие пленки -- напыление пленок -- микропроцессоры -- автоматический контроль Аннотация: Описаны устройство, методика измерения и алгоритм функционирования двухканальной компьютерной системы автоматического контроля толщины напыляемых тонких пленок. Доп.точки доступа: Наумов, В. В.; Гребенщиков, О. А.; Залесский, В. Б.; Кравченко, В. М. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |