Моисеев, К. Д.
    Особенности формирования эпитаксиальных слоев InAsSbP на подложке InAs методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений [Текст] / К. Д. Моисеев, В. В. Романов, Ю. А. Кудрявцев // Физика твердого тела. - 2016. - Т. 58, вып. 11. - С. 2203-2207 : 5 рис. - Библиогр. в конце ст. (6 назв.) . - ISSN 0367-3294
УДК
ББК 22.379
Рубрики: Физика
   Физика полупроводников и диэлектриков

Кл.слова (ненормированные):
InAsSbP -- газофазная эпитаксия -- металлоорганические соединения -- подложка InAs -- эпитаксиальные слои InAsSbP
Аннотация: Послойный анализ вторичных ионов показал градиентное изменение состава вдоль направления наращивания.


Доп.точки доступа:
Романов, В. В.; Кудрявцев, Ю. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)